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Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten innerhalb von Vakuumkammern

Device for forming metal coatings on substrates in vacuum chambers comprises an anode with anode fingers separated from each other by slots and aligned in the direction of the substrate
 
: Meyer, C.

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DE 102007049649 A: 20071010
DE 102007049649 A: 20071010
C23C0014
Deutsch
Patent
Fraunhofer IWS ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten innerhalb von Vakuumkammern. Aufgabe der Erfindung ist es, Moeglichkeiten fuer die Ausbildung von Beschichtungen innerhalb von Vakuumkammern zu schaffen, mit denen die Kosten fuer Betrieb und Anlagentechnik reduziert und die ausnutzbare Betriebsdauer erhoeht werden kann. Bei der Vorrichtung wird zwischen mindestens einer Kathode und mindestens einer Anode ein gepulster elektrischer Gleichstrombogen gezuendet und dadurch ein Plasma gebildet. Kathode(n) und Anode(n) sind ausserdem relativ zueinander bewegbar. An Anoden sind mehrere vollstaendig oder teilweise durch Schlitze voneinander getrennte Anodenfinger, die in Richtung auf ein zu beschichtendes Substrat ausgerichtet sind, vorhanden. Die Anode(n) sind mit einem Anodenfuss ausgebildet, der in Form eines radial nach aussen gerichteten Flansches ausgebildet ist. Dort ist ein elektrischer Anschlusskontakt der Anode angeordnet. In einer Ausfuehrungsform ist an Anodenfingern ein radial nach aussen gerichteter Anodenfingerfuss vorhanden, an dem ein elektrischer Anschlusskontakt vorhanden ist. Anodenfinger koennen auch elektrisch leitend mit einem Anschlusskontakt elektrisch leitend verbunden sein, so dass mit dem Anodenstrom ein magnetisches Feld zur Fuehrung von elektrischen Bogenentladungen um deren Brennfleck auf der Kathode ausgebildet wird.

 

DE 102007049649 A1 UPAB: 20090509 NOVELTY - Device for forming metal coatings on substrates in vacuum chambers comprises an anode (1) with anode fingers (9) separated from each other by slots (4) and aligned in the direction of the substrate. The anode has an anode base (1.1) in the shape of a flange directed radially outward. An electrical contact is arranged on the anode. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for forming metal coatings on substrates in vacuum chambers. USE - Device for forming metal coatings on substrates in vacuum chambers. ADVANTAGE - The device has a long service life.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-95834.html