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Mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelementen

Micromechanical sensor/actuator component i.e. scanner mirror, for use in e.g. scanner, has transparent cover for sealing surface of substrate and optical elements, where optical main axis of cover is not perpendicular to substrate surface
 
: Wolter, A.; Sander, T.; Schenk, H.

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DE 102007050002 A: 20071016
DE 102007050002 A: 20071016
B81B0007
B81C0001
Deutsch
Patent
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement mit optischer Funktion und Herstellungsverfahren. Dabei weist ein Substrat Elektroden und elektrische Kontaktierungen, ein optisches, zum Substrat auslenkbares elektrisch angesteuertes Element auf. Ein transparenter Deckel ist ebenfalls vorhanden. Aufgabe der Erfindung ist es, ein mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement mit optischer Funktion und ein Verfahren zur Herstellung solcher Bauelemente zu schaffen, bei denen Reflexionen, die die Funktion des mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelements beeintraechtigen koennten, zu verringern oder sogar zu vermeiden. Erfindungsgemaess ist dabei die optische Hauptsache des Deckels nicht senkrecht zur Oberflaeche des Substrats ausgerichtet.

 

US 20090097087 A1 UPAB: 20090604 NOVELTY - The component i.e. scanner mirror (100), has a substrate (1) provided with a surface, and optical elements (2, 11) e.g. prism, which are deflectable relative to the substrate. A transparent cover (6) seals the surface of the substrate and the deflectable optical elements. An optical main axis of the transparent cover is not perpendicular to the surface of the substrate. The transparent cover is provided with a transparent cover element and a frame part. The cover element is configured as a flat, single/multilayer plate, which is preferably non-reflective coated. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for producing a micromechanical sensor/actuator component. USE - Micromechanical sensor/actuator component i.e. scanner mirror, for microscopy, beam path manipulation and path length modulation in a scanner, microscope, spectrometer, laser display, laser printer, laser exposure device and a Fourier spectrometer (all claimed). Can also be used for scanning grating, bolometer, photodiode and photodiode array, charge coupled device (CCD) array, complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor and light modulator. ADVANTAGE - The component reduces reflections, which affect the function of the component. The optical main axis of the transparent cover is not perpendicular to the surface of the substrate and does not coincide with the optical main axis of the deflectable optical elements, so that image point with high intensity is not produced. The cover is provided diagonally to the surface of the substrate, thus providing simple structure to the component.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-95831.html