Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Wafer-Scale-Fertigung von Miniaturoptiken

 
: Dambon, O.; Hollstegge, D.

Photonik 41 (2009), Nr.2, S.44-45
ISSN: 1432-9778
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
optische Linse; Abformtechnik; Fertigungsverfahren; Oberflächengüte; Werkzeugbau; Kostensenkung; Formgenauigkeit; Hochleistungskeramik

Abstract
Hochpräzise Linsenarrays finden zunehmende Anwendung in verschiedenen Bereichen. Dabei trifft komplexes optisches Design auf die Forderung nach kostengünstiger Fertigung. Der Beitrag stellt abformende Verfahren für komplexe Geometrien vor und beschreibt dazu die Fertigung von hochpräzisen optischen Mikrolinsen im Wafer-Maßstab. Das Herstellungsverfahren wird erläutert und die Bauteiloberfläche wird messtechnisch charakterisiert. Der Schlüssel zu diesem Fertigungsverfahren ist der Werkzeugbau, auch darauf geht der Beitrag näher ein.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-95650.html