Fraunhofer-Gesellschaft

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Gasphasen- und Oberflächenanalyse von Atmosphärendruck-Plasmen zur Polymerfolienbehandlung

 
: Günther, S.; Teuscher, N.; Hänsel, R.; Voigt, H.-M.; Heilmann, A.; Kiesow, A.

Tiller, H.-J.:
Oberflächentechnik für die Praxis. Plenarvorträge, Kurzvorträge, Posterzusammenfassungen : Gewidmet Herrn Prof. Dr. Peter Görnert anlässlich seines 65. Geburtstages. Jena, 16. - 18. September 2008
Jena: Innovent, 2008
ISBN: 978-3-00-025424-6
S.71-76
Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) <4, 2008, Jena>
Thüringer Kolloquium Dünne Schichten in der Optik <1, 2008, Jena>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWM ()
Atmosphärendruck-Plasma; optische Emissionsspektroskopie; Oberflächenanalytik; Polyethylen; HMDSO

Abstract
Die dielektrische Barriere-Entladung findet als industriell etabliertes Verfahren zur Modifizierung von Kunststoffoberflächen vielfach Anwendung. Dabei bewirkt eine kurze, sehr intensive Plasmabehandlung unter Atmosphärendruck-Bedingungen insbesondere chemische Veränderungen auf der Oberfläche. Jüngste Entwicklungen zielen auf definierte Veränderungen der Gasatmosphäre über Zuspeisung von Gasen, Aerosolen oder auch Prekursoren, um die Oberfläche für spezifische Anwendungen maßzuschneidern. In der Praxis besteht der Bedarf die Modifizierung kontinuierlich an laufender Bahn zu überwachen. Für eine direkte Kontrolle existieren in der Praxis keine bzw. nur schwierig realisierbare Lösungen, was eine umfassende Qualitätssicherung erschwert. Ableitend aus dieser Problemstellung wird untersucht in wieweit die Analyse der Gasphasenprozesse mittels optischer Emissions-Spektroskopie (OES) mit den Ergebnissen der Oberflächenanalyse korrelieren, mit dem Ziel, die OES als on-line Diagnostikverfahren bei der Plasmabehandlung einzusetzen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-92466.html