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Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur

Deflectable structure for micro electromechanical system devices has a layer that includes two areas in which the first area is permanently moveable from permanent position with regard to second area to deflected position by applying force
: Drabe, C.

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DE 102007015726 A: 20070402
DE 102007015726 A: 20070402
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

(A1) Eine auslenkbare Struktur umfasst eine Schicht mit einem ersten Bereich und einem zweiten Bereich, eine Grabenstruktur in der Schicht, die die Schicht durchdringt und den ersten Bereich von dem zweiten Bereich trennt, eine erste Verbindungsstelle zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich und eine zweite Verbindungsstelle zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich, wobei der erste Bereich aus einer ersten, dauerhaften Position bezueglich des zweiten Bereichs durch Aufwenden einer Kraft dauerhaft in eine zweite, gegenueber der ersten Position ausgelenkte Position bezueglich des zweiten Bereichs bewegbar ist.


US 20080241462 A1 UPAB: 20081024 NOVELTY - A deflectable structure (100) has a layer (102) e.g. a plate that includes two areas (110,112). A trench structure (104) in the layer penetrates the layer and separates the two areas. Two junctions (106,108) are between the two areas. The first area is permanently moveable from a permanent position with regard to the second area to a deflected position by applying a force. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are included for (1) method of adjusting micromechanical structure; (2) micromechanical structure USE - Deflectable structure for use in micro electromechanical systems (MEMS) devices. Uses include but are not limited to microscanners and phase-shifting elements. Can also be used in optical switching elements, measuring devices and projectors. ADVANTAGE - The deflectable structure can be activated at a predefined point in time. It provides a high level of positioning accuracy/repeatability through a defined layout without requiring a high level of alignment accuracy. Also, the structure can be integrated into existing manufacturing processes for micro-mechanical structures without any additional expenditure.