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Anode fuer die Bildung eines Plasmas durch Ausbildung elektrischer Bogenentladungen

Plasma producing anode for coating of surfaces of substrates with coating materials i.e. diamond-like carbon, in electronic system, has strip elements separated from each other by gap, through which plasma is drawn in direction of substrate
 
: Meyer, C.-F.

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DE 102007019981 A: 20070423
DE 102007019981 A: 20070423
H05H0001
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IWS ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft eine Anode fuer die Bildung eines Plasmas durch Ausbildung elektrischer Bogenentladungen, ausgehend von einem als Kathode geschalteten Target, fuer die Beschichtung von Substraten mit Targetwerkstoff im Vakuum. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Moeglichkeit vorzuschlagen, mit der zumindest die Beschichtungsrate erhoeht werden kann, ohne dass der hierfuer erforderliche anlagentechnische Aufwand erheblich vergroessert ist. Die erfindungsgemaesse Anode fuer die Bildung eines Plasmas durch Ausbildung elektrischer Bogenentladungen, ausgehend von einem als Kathode geschalteten Target, ist dabei in bekannter Art und Weise in einem Abstand zum Target angeordnet. Dabei sind zunaechst parallel zur Oberflaeche des Targets ausgerichtete Anodenschienen an der Anode vorhanden. Ausserdem sind streifenfoermige Elemente an der Anode ausgebildet, die durch Spalte voneinander getrennt sind. Die streifenfoermigen Elemente gehen dabei von den Anodenschienen aus und weisen in Richtung eines an der Oberflaeche zu beschichtenden Substrats. Das gebildete Plasma ist dabei von zwei gegenueberliegenden Seiten mit den streifenfoermigen Elementen der Anode eingefasst.

 

WO 2008128536 A2 UPAB: 20081126 NOVELTY - The anode (1) has anode bars with strip elements (6, 6') aligned parallel to a surface of a target (4), where the anode is arranged at a distance to the target. The strip elements are separated from each other by a gap (5). Plasma (8) is surrounded on two opposite sides by the strip elements of the anode, where the plasma is formed from the target. The gap is provided between the anode bars and through which the plasma is drawn in a direction of a substrate to be coated. A pulse operated laser beam is directed on the surface of the target for igniting electrical arc discharges. USE - Anode for producing a plasma by forming electric arc discharges to coat surfaces of substrates with coating materials i.e. diamond-like carbon, in vacuum in a multi-layer system of an electronic system. ADVANTAGE - The strip elements are separated from each other by the gap, through which plasma is drawn in the direction of the substrate, thus avoiding undesired impact on the substrate surface during the layer formation, and increasing the coating rate without increasing the required equipment complexity.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-86215.html