Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit

 
: Klose, T.; Drabe, C.

:
Frontpage ()

DE 102007015718 A1: 20070402
DE 102007051820 A: 20071030
B81B0003
B81B0007
G02B0026
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine auslenkbare mikromechanische Funktionsstruktur und eine nichtstarre, vorgespannte Aufhaengung, die die mikromechanische Funktionsstruktur in dem mikromechanischen Bauelement positioniert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-86177.html