Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden

 
: Jung, D.; Drabe, C.; Schenk, H.; Sandner, T.; Klose, T.

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Frontpage ()

DE 102007015723 A1: 20070402
DE 102008012825 A: 20080306
B81B0003
B81B0007
G02B0026
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine mikromechanische Funktionsstruktur, die um eine Hauptachse aus einer Ruhelage auslenkbar ist, eine bewegliche Elektrode, die an der mikromechanischen Funktionsstruktur befestigt ist, und eine feste Elektrode, die um eine Verkippungsachse gegenueber der beweglichen Elektrode in der Ruhelage verkippbar ist, wobei die Verkippungsachse parallel zu der Hauptachse ist oder mit der Hauptachse identisch ist.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-86172.html