Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement

 
: Heber, J.; Klose, T.; Sandner, T.; Bergmann, A.; Gerwig, C.; Knieling, T.

:
Frontpage ()

DE 102007015719 A1: 20070402
DE 102008013098 A: 20080307
B81B0007
B81B0003
B81C0001
G02B0026
G02B0027
A61B0018
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine mikromechanische Funktionsstruktur und eine der mikromechanischen Funktionsstruktur zugeordnete elektromagnetische Strahlungsheizung, die ausgebildet ist, um eine zeitlich und raeumlich definierte Temperatur oder einen zeitlich und raeumlich definierten Temperaturverlauf in der mikromechanischen Funktionsstruktur zu bewirken.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-86170.html