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Title
Gehaeuse fuer in mobilen Anwendungen eingesetzte mikromechanische und mikrooptische Bauelemente
Date Issued
2007
Author(s)
Oldsen, M.
Hofmann, U.
Patent No
102007002725
Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft ein Gehaeuse fuer ein oder mehrere mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelemente, wobei das Gehaeuse ein Traegersubstrat mit mindestens einem mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement und mindestens ein Deckelsubstrat, das mit dem Traegersubstrat in Verbindung steht, aufweist. Dabei bilden das Traegersubstrat und das mindestens eine Deckelsubstrat mindestens einen Hohlraum, der das mindestens eine mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelement zumindest teilweise einschliesst, wobei die dem mindestens einen mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement zugewandte Seite mindestens eines Deckelsubstrats mindestens ein optisches Fenster und mindestens einen mechanischen Anschlag aufweist. Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gehaeuses, wobei das Verfahren insbesondere auch fuer die Verkapselung auf Wafer-Ebene einsetzbar ist.
WO 2008087022 A1 UPAB: 20080806 NOVELTY - The housing has a carrier wafer (1) with a micro-mechanical and/or micro-optical component (12), and a top cover wafer (2) and a bottom cover water (3) connected to the carrier water. The carrier wafer and the cover wafers form a cavity (5) that partially surrounds the micro-mechanical and/or micro-optical component. A side of the cover wafers facing the micro-mechanical and/or micro-optical component comprises an optical window (13) and a mechanical stop (8). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for producing a housing. USE - Housing for encapsulating a micro-mechanical and/or micro-optical component e.g. micro mirror and/or micro mirror-array (claimed), acceleration sensor and rotatable rate sensor, for mobile application. ADVANTAGE - The side of the cover wafers facing the micro-mechanical and/or micro-optical component comprises the optical window and the mechanical stop, thus providing mechanical overload protection against contamination and avoiding impairment of optical functionality of the component.
Language
de
Patenprio
DE 102007002725 A: 20070118