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Testeinrichtung fuer mikromechanische Bauelemente

Test device for micromechanical element, has displacement device with electrodes made of indium tin oxide in electrode substrate for generating electrostatic field, where movable part of micromechanical element is exposed
 
: Kurth, S.; Böhme, M.

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DE 102007002373 A1: 20070116
DE 102007016735 A: 20070403
G01M0007
G01B0009
B81C0005
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

Abstract
(A1) Es wird eine Testeinrichtung fuer mikromechanische Bauelemente vorgeschlagen, bei der mindestens ein ein bewegliches Teil aufweisendes mikromechanisches Bauelement auf einer Auflage angeordnet ist und eine Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen des beweglichen Teils und eine Vorrichtung zum Erfassen der Auslenkung bzw. von Schwingungen vorgesehen sind. Die Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen weist Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes ggf. wechselnder Staerke auf, dem das bewegliche Teil des mikromechanischen Bauelementes ausgesetzt ist.

 

DE 102007016735 A1 UPAB: 20080731 NOVELTY - The device has a displacement device for displacing a movable part (6) of a micromechanical element (3), and a detecting device for detecting the displacement of the part. The displacement device has electrodes (1, 2) made of indium tin oxide in an electrode substrate (12) for generating an electrostatic field, where the movable part is exposed. The electrodes are arranged at a given distance to the movable part, where an excitation voltage of 100 volts is formed between the two electrodes for generating the electrostatic field to oscillate the movable part. USE - Test device for a micromechanical element that is utilized as pressure and acceleration sensors, detectors of rotation rate, vibration and inclination, piezoresistive sensor, capacitive acceleration sensor, electrostatic actuator, microctuator, and as a laser scanner. ADVANTAGE - The test device is designed such that the external mechanical excitation of the mechanically movable parts of the micromechanical elements is obtained with a large frequency band width between 0 hertz and 1 mega hertz, so that the characteristics of the element to be tested is not affected by the excitation, and hence facilitating testing of large number of elements.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-81939.html