Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Scaling the microwave plasma-assisted chemical vapor diamond deposition process to 150-200 mm substrates

 
: King, D.; Yaran, M.K.; Schuelke, T.; Grotjohn, T.A.; Reinhard, D.K.; Asmussen, J.

:

NDNC 2007, International Conference on New Diamond and Nano Carbons. Proceedings : Osaka, Japan, 28 - 31 May 2007
Amsterdam: Elsevier, 2008 (Diamond and related materials 17.2008, Nr.4-5)
S.520-524
International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC) <2007, Osaka>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-76495.html