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Trends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Lösungsansätze

Trends in development of standards for micro- and nanometrology - Chances and challenges
 
: Weckenmann, A.; Wiedenhöfer, T.; Büttgenbach, S.; Krah, T.; Fleischer, J.; Buchholz, I.; Viering, B.; Kranzmann, A.; Ritter, M.; Krüger-Sehm, R.; Bakucz, P.; Schmitt, R.; Koerfer, F.

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Technisches Messen : TM 75 (2008), Nr.5, S.288-297
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
Messen geometrischer Größen; Mikrometerbereich; Nanometerbereich; Koordinatenmessung; Normal=Eichnormal; Prüfkörper; Kalibrieren=Abgleichen; Mikrotechnik; Oberfläche; Oberflächentopographie; Stand der Technik; Entwicklungstendenz; Metrologie; gesetzliches Messwesen

Abstract
Im Bereich der Entwicklung von Normalen für die Mikrometer- und Nanometer(mess)technik ist immer noch viel Forschungsarbeit zu leisten. Makroskopische Ansätze lassen sich nur bedingt 'herunterskalieren' und der Aspekt virtueller, parallelisierter oder 'echter' 3D-Messtechnik und deren Einsatz, Anwendung und Realisierung muss weiter untersucht werden. Durch die rasante Entwicklung neuer Produkte - und der zugehörigen Messtechnik im Mikro- und Nano-Bereich - müssen die beschriebenen Ansätze weiter untersucht und ausgebaut werden, sodass diese dann in praxistaugliche Vorgehensweisen, Normale und Mess- und Auswertestrategien überführt und umgesetzt werden können.
Entnommen aus TEMA

 

Micro- and nano-metrology permanently need new standards. New approaches in design, production and application have to be developed, in order to fulfil the requirements and boundary conditions of micro- and nano-technology. In the following selected examples for these developments are presented.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-76092.html