Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Tailoring of structure formation and phase composition in reactively sputtered zirconium oxide films using nitrogen as an additional reactive gas

 
: Severin, D.; Sarakinos, K.; Kappertz, O.; Pflug, A.; Wuttig, M.

:

Journal of applied physics 103 (2008), Nr.8, Art. 083306
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-75351.html