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Sensor zur Erfassung von Beschleunigungen

Acceleration detecting sensor i.e. micromechanical sensor, has detection unit arranged with respect to measuring unit in such manner that deformation of measuring unit is not transferable to detection unit
 
: Schwarzelbach, O.; Weiss, M.; Kempe, V.

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Frontpage ()

DE 102006048381 A: 20061012
DE 102006048381 A: 20061012
G01P0015
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor zur Erfassung einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung, aufweisend: ein Substrat (3), eine bei Vorliegen einer Beschleunigung als traege Masse wirkende Masseeinheit (9), eine Befestigungsstruktur (2, 1, 5), mittels der die Masseeinheit an dem Substrat angelenkt ist, wobei die Masseeinheit so an dem Substrat angelenkt ist, dass wenigstens eine Schwenkachse (y; z) definiert ist, um die die Masseeinheit aufgrund einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung relativ zu dem Substrat eine Rotation ausfuehren kann, und wobei die Masseeinheit einen von der jeweiligen Schwenkachse distanzierten Traegheitsschwerpunkt (4) aufweist, und wenigstens eine Detektionseinheit (11; 15), mit der eine Lageaenderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinheit derart bezueglich der Masseeinheit angeordnet ist, dass eine Verformung der Masseeinheit nicht auf die Detektionseinheit uebertragbar ist. Vorzugsweise ind zwei Detektionseinheiten vorhanden. Mit einer dieser Einheiten ist eine aufgrund einer in eine erste Richtung wirkenden Beschleunigung des Sensor hervorgerufene Lageaenderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar, waehrend mit der anderen eine aufgrund einer in eine zweite Richtung wirkenden Beschleunigung des Sensors hervorgerufene Lageaenderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar ist.

 

DE 102006048381 A1 UPAB: 20080504 NOVELTY - The sensor has a measuring unit (9) acting as an inactive mass during existence of an acceleration, where the measuring unit is hinged at a substrate (3) by an attachment structure (1, 2, 5) to define a swivel axis. An inertia focal point is provided at a distance from the swivel axis, and a detection unit (11, 15) detects a position change between the measuring unit and the substrate. The detection unit is arranged with respect to the measuring unit in such a manner that a deformation of the measuring unit is not transferable to the detection unit. USE - Sensor i.e. micromechanical sensor, for detecting an acceleration acting on the sensor. ADVANTAGE - The design of the sensor avoids the measured value variations due to a release of internal stresses, and an occurrence of temperature-dependent uneven expansions.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-75228.html