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Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieaenderung und Verfahren zum Betreiben desselben

Micromechanical unit for e.g. use in light deflector, has resonance frequency adjusting device adjusting resonance frequency of oscillation system such that positions of spring hangers of hanger assembly are changed to one another
 
: Grasshoff, T.; Klose, T.; Sandner, T.

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DE 102007001516 A: 20070110
DE 102007001516 A: 20070110
B81B0003
H03H0003
G02B0026
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(B3) Ein beschriebenes mikromechanisches Bauelement umfasst ein Schwingungssystem, das einen Schwingungskoerper (11) und eine elastische Aufhaengung (12), mittels der der Schwingungskoerper (11) schwingfaehig aufgehaengt ist, aufweist. Die elastische Aufhaengung weist zumindest zwei Federbalken auf. Eine Einrichtung zum Einstellen einer Resonanzfrequenz des Schwingungssystems durch Aenderung der Lage der zumindest zwei Federbalken der elastischen Aufhaengung (12) zueinander ist vorgesehen.

 

DE 102007001516 B3 UPAB: 20080523 NOVELTY - The micromechanical unit has an oscillation system, which has an oscillation body (11) i.e. deflection mirror. The oscillation body is hanged up in a swingable manner using an elastic hanger assembly (12) having two spring hangers (12a, 12b). A resonance frequency adjusting device adjusts a resonance frequency of the oscillation system such that positions of the spring hangers of the hanger assembly are changed to one another. The body (11) is swingably supported under utilization of the spring hangers at a support body (22). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for the operation of a micromechanical unit. USE - Micromechanical unit for use in a light deflector (claimed) and as a resonant MEMS scanner mirror i.e. micromechanical actuator. Can also be used for a micromechanical sensor. ADVANTAGE - The micromechanical unit is designed such that the combined adjustment and tuning of the resonant frequency of the micromechanical unit is enabled during the operation of the micromechanical unit, and the micromechanical unit is constructed in a less expensive manner.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-75202.html