Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele

 
: Wiemer, M.; Frömel, J.; Hiller, K.; Reuter, D.; Jia, C.

Schlaak, H.F. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe
Berlin: VDE-Verlag, 2007 (GMM-Fachbericht 53)
ISBN: 978-3-8007-3033-9
ISBN: 3-8007-3033-2
S.17-24
Workshop "Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik" <2007, Karlsruhe>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-74928.html