Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Proceedings of the 6th Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

 
: Sundaram, K.; Deen, M.J.; Landherr, D.; Brown, W.D.; Misra, D.; Sah, R.E.

New Jersey: Electrochemical Society, 2001, 286 S.
Electrochemical Society. Proceedings, 2001-7
International Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films <2001, Washington/DC>
ISBN: 1-56677-313-X
Deutsch
Tagungsband
Fraunhofer IAF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-7397.html