Fraunhofer-Gesellschaft

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Einfluss von Beschichtungsparametern auf den Teilchen- und Energiestrom zum Substrat und Auswirkungen auf ausgewählte Eigenschaften von Titanoxidschichten beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputtern

 
: Glöß, D.

Chemnitz, 2007, 113 S.
Chemnitz, TU, Diss., 2007
URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200701192
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-73837.html