Fraunhofer-Gesellschaft

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Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme

 
: Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan

Bartscher, M. ; Physikalisch-Technische Bundesanstalt -PTB-, Braunschweig; Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung -BAM-, Berlin; Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin; Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf:
Geometriebestimmung mit industrieller Computertomographie : Aktueller Stand und Entwicklungen 229. PTB-Seminar, 13./14. März 2007, Braunschweig
Bremerhaven: Wirtschaftsverlag NW Verlag für neue Wissenschaft, 2007 (PTB-Berichte: Fertigungsmeßtechnik 54)
ISBN: 978-3-86509-703-3
ISBN: 3-86509-703-0
S.245-254
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB-Seminar) <229, 2007, Braunschweig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Meßstrategie; Mikrosystemtechnik; Messen; Meßverfahren; Oberflächenprüfung; Sensor

Abstract
Eine multiskalige Mess- und Prüfstrategie wird für mikrosystemtechnische Mess- und Prüfaufgaben entwickelt. Die Strategie kombiniert Messverfahren unterschiedlicher Auflösungsstufe für die Erfassung, Charakterisierung und Prüfung von geometrischen und nicht-geometrischen funktionsrelevanten Kenngrößen. Der Mess- und Prüfablauf wird dynamisch gesteuert, so dass aufwendige Messverfahren lediglich auf kritischen Bereichen angewendet werden. Der Übergang von grob- zu feinskaligen Messverfahren wird durch Indikatorfunktionen unterstützt, die Hinweise auf mögliche Fehlstellen liefern. Ein Versuchsaufbau wurde erstellt, um die Strategie anhand des Andwendungsbeispiels Kontaminationskontrolle umzusetzen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-72064.html