Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Assessment of the cleanroom suitability of material pairings for use in cleanroom applications

 
: Gommel, Udo

Dorner, Johann (Programmkomitee); Westkämper, Engelbert (Programmkommitee) ; Verband Deutscher Maschinen- und Anlagenbau e.V. -VDMA-, Frankfurt/Main; Max-Planck-Gesellschaft -MPG-, München; Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren -HGF-, Bonn; Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. -FhG-, München; Wissenschaftsgemeinschaft Gottfried Wilhelm Leibniz -WGL-:
MiNaT - Internationale Fachmesse für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nanotechnologien. CD-ROM : Dienstag, 12. Juni bis Donnerstag, 14. Juni, Stuttgart
Stuttgart, 2007
23 S.
Internationale Fachmesse für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nanotechnologien (MiNat) <2007, Stuttgart>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
cleanroom; cleanroom Application; Reinraumanwendung; sustainability; Reinraum

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-72055.html