Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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P implantation into preamorphized germanium and subsequent annealing: Solid phase epitaxial regrowth, P diffusion, and activation

 
: Posselt, M.; Schmidt, B.; Anwand, W.; Grötzschel, R.; Heera, V.; Mücklich, A.; Wündisch, C.; Skorupa, W.; Hortenbach, H.; Gennaro, S.; Bersani, M.; Giubertoni, D.; Möller, A.; Bracht, H.

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 26 (2008), Nr.1, S.430-434
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer CNT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-71015.html