Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment

 
: Tenholte, D.; Kurth, S.; Gessner, T.; Dötzel, W.

:

French, P.J.:
Eurosensors XX, the 20th European Conference on Solid-State Transducers : Göteborg, Sweden, 17 - 20 September 2006
Amsterdam: Elsevier, 2008 (Sensors and actuators. A, Physical 142.2008, Nr.1)
S.166-172
Eurosensors <20, 2006, Göteborg>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-71009.html