Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment
| French, P.J.:
Eurosensors XX, the 20th European Conference on Solid-State Transducers : Göteborg, Sweden, 17 - 20 September 2006
Amsterdam: Elsevier, 2008 (Sensors and actuators. A, Physical 142.2008, Nr.1)
S.166-172 |
| Eurosensors <20, 2006, Göteborg> |
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| Englisch |
| Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| Fraunhofer IZM ()
Fraunhofer ENAS () |