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MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip

Micro-electro-mechanical systems vacuum pressure sensor, has recess and/or duct provided in area of substrate and reducing damping of oscillations of mass unit by gas or plasma surrounding mass unit
 
: Kurth, S.; Tenholte, D.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W.

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DE 102006024381 A: 20060524
DE 102006024381 A: 20060524
G01L0021
B81B0007
G01L0011
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IZM ()

Abstract
(B3) Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Druckmessung, welches ein Substrat und mindestens ein Massenelement aufweist, das beabstandet zum Substrat angeordnet und schwingungsfähig mit dem Substrat und/oder einem relativ zum Substrat unbeweglichen Trägerkörper verbunden ist, so dass zwischen dem Massenelement und dem Substrat ein Spalt besteht, dessen Breite durch Schwingungen des Massenelements variierbar ist. In der den Spalt begrenzenden Fläche des Substrats befindet sich mindestens eine Vertiefung und/oder mindestens eine Durchführung, die zur Reduktion der Dämpfung der Schwingung des Massenelements durch das das Massenelement umgebende Gas oder Plasma dient. Das Sensorelement findet inbesondere Anwendung in Drucksensoren zur Messung von Drücken im Vakuumbereich. Durch die Verwendung des erfindungsgemässen Sensorelements als Druckaufnehmer lassen sich maximale Drücke bis in den Bereich des atmosphärischen Luftdrucks erfassen. Die tiefsten zu bestimmenden Drücke liegen im Bereich von 10-6 mbar.

 

WO 2007134714 A1 UPAB: 20080102 NOVELTY - The sensor has a mass unit (1) arranged at a distance from a substrate (5) and connected to the substrate and/or a support body (6). The body is fixed relative to the substrate such that a gap whose width is varied by oscillations of the mass unit is formed between the mass unit and the substrate. A recess and/or a duct is provided in an area of the substrate which borders the gap. The recess and/or duct reduces damping of the oscillations of the mass unit by gas or plasma surrounding the mass unit. USE - Used for measuring vacuum pressure. ADVANTAGE - The recess and/or a duct provided in the area of the substrate reduces damping of the oscillations of the mass unit by gas or plasma surrounding the mass unit, thus ensuring a large measuring range with high resolution and accuracy over an entire measuring range.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-70623.html