Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen

 
: Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo

Galvanotechnik 99 (2008), Nr.2, S.330-338
ISSN: 0016-4232
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationskontrolle; technische Oberfläche; contamination control; technical surface; Kontamination; Reinraum

Abstract
Die Kombination aus lichtmikroskopischer Betrachtung und Beleuchtung unter einem sehr kleinen Winkel führt zu einer schnellen Methode zur Bestimmung der Kontamination von Oberflächen. Zu den Vorteilen dieser Methode gegenüber den bisher üblichen zählt u.a. die kurze Messzeit durch die direkte Messung am Bauteil und die einfache Klassifizierbarkeit der Verunreinigungen. Des Weiteren sind sowohl Partikel aus Fremdmaterial aus auch aus Substratmaterial ohne Aufwand bestimmbar. Die Methode eignet sich als On-line-Verfahren zur Integration in bestehende Fertigungslinien.

 

Using optical microscopy in combination with very low angle illumination, a rapid method to determine contamination of surfaces was developed. Among the advantages, as compared with existing methods are the speed of measurement, thanks to direct measurement at the component surface as well as a means of classifying the nature of the contaminant species. Thus both particles of foreign material and those of the substrate material can be detected. The method is suited for on-line use in existing production lines.

La combinaison de l'observation par microscopie optique et éclairage sous un angle très faible aboutit à une méthode rapide pour déterminer la contamination des surfaces. Parmi les avantages de cette méthode figure, entre autres, la courte durée de mesure par rapport à la mesure directe et à la possibilité simple de classification des pollutions jusqu'ici usuelles. En outre les particules des impuretés autant que le matériau de base sont déterminables sans coût. La méthode convient comme procédé on-line en l'intégrant dans les chaînes de production existantes.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-69687.html