Fraunhofer-Gesellschaft

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Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren

 
: Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.

Kraft, O. ; Forschungszentrum Karlsruhe GmbH:
Kolloquium Mikroproduktion: Fortschritte, Verfahren, Anwendungen : 22. und 23. November 2007, Karlsruhe; In Kooperation: Sonderforschungsbereich 499, Sonderforschungsbereich 440, Sonderforschungsbereich 516, Sonderforschungsbereich 747
Karlsruhe: FZK, 2007
ISBN: 978-3-923704-61-3
S.171-177
Kolloquium Mikroproduktion <2007, Karlsruhe>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
Ein wichtiger Aspekt der Entwicklung elektromagnetischer Mikroaktoren ist die Erforschung geeigneter Materialien sowie die Entwicklung der entsprechenden Abscheide- und Strukturierungsprozesse. Im Rahmen des Sonderforschungsbereichs 516 ,,Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme" beschäftigt sich das Teilprojekt B1 ,,Fertigung magnetischer schichten für elektromagnetische Mikroaktoren" mit dieser Aufgabenstellung. Die untersuchten Materialien lassen sich dabei in hart- und weichmagnetische Materialien einteilen. In beiden Bereichen sind bisher schon Materialien mit optimierten Eigenschaften und Herstellungsprozessen entwickelt worden, wie z.B. Samarium-Kobalt (SmCo), das als magnetrongesputtertes Sm2Co17 ein sehr großes Energieprodukt aufweist und mittels Gasflusssputtern als SmCo5, mit sehr hohen Raten abgeschieden werden kann. Im Bereich der weichmagnetischen Materialien wurde nach NiFe81/19 auch die Legierung NiFe45/55 untersucht, das eine höhere Sättigungsflussdichte Bs, und relative Permeabilität µr aufweist. Die aktuellen Untersuchungen schließen CoFe mit noch höherer Sättigungsflussdichte Bs, und relative Permeabilität µr ein. Ausgehend von diesem Stand sollen neue Anwendungsmöglichkeiten erforscht, die Prozesse zur Erzielung der guten Materialkennwerte stabilisiert (z.B. bei der CoFe-Galvanik) und vereinfacht (z.B. durch die Nutzung von geheizten Substraten während der Abscheidung) werden, indem über die bisherigen Prozessvariationen hinaus andere Prozesse wie die Wärmebehandlung analysiert werden. Auch die Einflüsse der Strukturierung müssen weiter untersucht werden. Ein weiterer Fokus liegt auf der Untersuchung der Integration in Fertigungsfolgen, d.h. der Prozessstabilität und -kompatibilität.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-68368.html