Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optimized fabrication of silicon nanofocusing x-ray lenses using deep reactive ion etching

 
: Kurapova, O.; Lengeler, B.; Schroer, C.G.; Küchler, M.; Gessner, T.; Hart, A. van der

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 25 (2007), Nr.5, S.1626-1629
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-67770.html