Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Thermal stability and gap-fill properties of spin-on MSQ low-k dielectrics

 
: Ahner, N.; Schulz, S.E.; Blaschta, F.; Rennau, M.

:

Travaly, Y.H.:
Materials for advanced metallization, MAM 2007 : The 16th European Workshop on "Materials for Advanced Metallization 2007", March 4 - 7, 2007, Brugge, Belgium
Amsterdam: Elsevier, 2007 (Microelectronic engineering 84.2007, Nr.11)
S.2606-2609
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <16, 2007, Brugge>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-67747.html