Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Evaluation of Air Gap structures produced by wet etch of sacrificial dielectrics: Critical processes and reliability of Air Gap formation

 
: Schulze, K.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

:

Travaly, Y.H.:
Materials for advanced metallization, MAM 2007 : The 16th European Workshop on "Materials for Advanced Metallization 2007", March 4 - 7, 2007, Brugge, Belgium
Amsterdam: Elsevier, 2007 (Microelectronic engineering 84.2007, Nr.11)
S.2587-2594
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <16, 2007, Brugge>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-67746.html