Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Roughness improvement of the COSi2/Si-interface for an application as buried silicide

 
: Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Höhnemann, H.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T.

:

Travaly, Y.H.:
Materials for advanced metallization, MAM 2007 : The 16th European Workshop on "Materials for Advanced Metallization 2007", March 4 - 7, 2007, Brugge, Belgium
Amsterdam: Elsevier, 2007 (Microelectronic engineering 84.2007, Nr.11)
S.2537-2541
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <16, 2007, Brugge>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-67745.html