Fraunhofer-Gesellschaft

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Optimierung der dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln

 
: Klose, T.; Wolter, A.; Sandner, T.; Schenk, H.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
S.1015-1018
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Es wird ein Verfahren zur Optimierung (Minimierung) der trägheitsbedingten dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln vorgestellt. Grundlage dafür bilden vereinfachte, parametrisierte Finite-Elemente-Modelle. Die Optimierung wird mithilfe des am Fraunhofer IIS-EAS (Institut für integrierte Schaltungen, Institutsteil Entwurfsautomatisierung in Dresden) entwickelten Optimierungs-Systems MOSCITO durchgeführt. Für ein betrachtetes Beispiel - einen resonanten Mikroscanner mit einem Spiegeldurchmesser D=1mm und einer Schwingfrequenz von 17.5kHz - kann eine Verringerung der dynamischen Deformation um ca. 80% erreicht werden. Das resultierende Bauelement ist zur Realisierung eines Laser-Projektors mit VGA-Auflösung auf Basis des Flying-Spot-Prinzips geeignet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-65678.html