Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor

 
: Schneider, F.; Müller, C.; Ulmer, U.; Eberhard, D.; Besser, H.; Pfleging, W.; Wallrabe, U.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
S.489ff
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPM ()

Abstract
In diesem Beitrag werden adaptive Flüssiglinsen mit dicken Silikonmembranen in einem Durchmesserbereich von 5 bis 15 mm vorgestellt. Die Membranen werden mittels Gießtechnik in einem Batchprozess gefertigt. Die Linsen verfügen über integrierte Piezobiegewandler, welche ebenfalls in Silikon eingebettet werden. Die hier vorgestellten Linsen erschließen Anwendungsfelder, die von den am Markt etablierten Electrowetting-Linsen (Durchmesser < 5 mm) nicht abgedeckt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-65166.html