Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A large deflection translatory actuator for optical path length modulation

 
: Drabe, C.; Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.K.

:

Ürey, H. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
MEMS, MOEMS, and Micromachining II : Strasbourg, France, 3 April 2006
Bellingham/Wash.: SPIE, 2006 (SPIE Proceedings Series 6186)
ISBN: 0-8194-6242-X
8 S.
Conference "MEMS, MOEMS, and Micromachining" <2006, Strasbourg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-65147.html