Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Approach for a standardized methodology for multisite processing of 300-mm wafers at R&D sites

 
: Oechsner, R.; Pfeffer, M.; Frickinger, J.; Schellenberger, M.; Roeder, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M.; Kaushik, V.; Renaud, D.; Danel, A.; Claeys, C.; Bearda, T.; Lering, M.; Graef, M.; Murphy, B.; Walther, H.; Hury, S.

:

IEEE transactions on semiconductor manufacturing 20 (2007), Nr.3, S.215-221
ISSN: 0894-6507
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-64902.html