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Großflächige ultraschnelle Mikrobearbeitung mit multiplen Laserspots

 
: Brüning, Stephan Erich; Du, Keming; Gillner, Arnold

:
Volltext (PDF; - Gesamter Tagungsband)

Hochschule Mittweida:
12. Mittweidaer Lasertagung 2021 : 10. und 11. November 2021, Hochschule Mittweida
Mittweida: Hochschule Mittweida, 2021 (Scientific Reports 3, 2021)
ISSN: 1430-3698
S.48-55
Mittweidaer Lasertagung <12, 2021, Mittweida>
Deutsch
Konferenzbeitrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Ultrakurzpuls-Laser haben sich in den vergangenen Jahren weit verbreitet, um hochpräzise Mikrostrukturen direkt in nahezu jedem Material zu realisieren. Trotz der derzeitigen Verfügbarkeit von UKP-Hochleistungslasern (bis zu mehreren hundert Watt) ist es immer noch eine Herausforderung, große Flächen, wie sie für Prägezylinder für Rolle-zu-Rolle Anwendungen benötigt werden, in einer für die industrielle Produktion akzeptablen Bearbeitungszeit zu strukturieren. In diesem Beitrag wurde ein hochkompakter ps-Laser mit Repetitionsraten von bis zu 8 MHz und einer mittleren Leistung von 500 W durch ein diffraktives optisches Element (DOE) auf 16 parallele Strahlen verteilt. Die Leistung wurde durch einen akusto-optischen Modulator pro Strahl moduliert.
Integriert in ein ultrahochpräzises Zylindergravursystem wurden die 16 Spots mit einer Genauigkeit von < 1 μm synchronisiert. Auf der Zylinderoberfläche wurden in einem Spot-zu-Spot Abstand von 20 μm Einzelspotdurchmesser von 13 μm erreicht. Verschiedene funktionale Mikrostrukturen wurden als Master realisiert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-645037.html