Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A study of parylene C polymer deposition inside microscale gaps

 
: Ramachandran, A.; Koch, K.P.; Hoffmann, K.P.; Junk, M.

:

IEEE transactions on advanced packaging 30 (2006), Nr.4, S.712-724
ISSN: 1521-3323
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IBMT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-64443.html