Fraunhofer-Gesellschaft

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Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten

 
: Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H.

Jahrbuch Optik und Feinmechanik 2001. Bd.48
Berlin: Schiele & Schön, 2001
ISBN: 3-7949-0663-2
S.167-190
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
bildgebendes Mikrosystem; MOEMS; Flächenlichtmodulator; Mikro-Scannerspiegel; Mikrosystem; chip

Abstract
Licht und Elektrizität werden als Universalwerkzeuge der kommenden Jahrzehnte angesehen. Neuartige Mikrosysteme verknüpfen diese beiden Werkzeuge in idealer Weise. Sogenannte Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme (MOEMS) sind elektronisch ansteuerbare Bauelemente, die aufgrund ihrer optischen Funktionalität dafür sorgen, daß Licht räumlich und zeitlich moduliert werden kann. Unser Institut entwickelt zur Zeit zwei Typen von MOEMS:
* Flächenlichtmodulatoren (Spatial Light Modulator: SLM) und
* Mikro-Scannerspiegel (Micro Scanner Mirror: MSM).
SLM haben eine matrixartige Struktur (Array) und eignen sich bestens zur Erzeugung von Bildern oder Mustern, da aufgrund der Matrixstruktur die Generierung von Bildern und Mustern parallel erfolgen kann. Darüber hinaus werden SLMs auch in der Wellenfrontkorrektur eingesetzt.
MSMs sind Bauelemente, die aus einem auf einer Kippachse (oder auf einer kardanischen Aufhängung) realisierten Einzelspiegel bestehen und dadurch eine Winkelablenkung des reflektierten Lichts in einer Richtung (oder in zwei aufeinander senkrechten Richtungen) erlauben. Auch damit können Bilder oder Muster erzeugt werden, wobei die Generierung der Bildpunkte seriell erfolgt. In Form von MSMs stehen mikrominiaturisierte Ablenkeinheiten (scan engines) für Licht zu Verfügung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-6432.html