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Title
Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten
Date Issued
2021
Author(s)
Patent No
102020201241
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf einen mikroelektromechanischen Antrieb (1) zum Bewegen eines Objekts, der elektrostatische Biegeaktuatoren (10) aufweist, wobei jeder elektrostatische Biegeaktuator (10) einen Ausleger (2) aufweist, der zumindest ein aktives Element (3) aufweist, das einen Schichtstapel aufweist, der zumindest einen Kondensator bildet, der versetzt zu einer Schwerpunktebene (4) des Auslegers (2) positioniert ist, entlang einer Längsachse (4) des Auslegers (2) von einem gestützten Ende (5) des Auslegers (2) zu einem losen Ende (6), das von dem gestützten Ende (5) des Auslegers (2) abgewandt ist und das eine Kontaktfläche (7) zum Ineingriffnehmen des Objekts aufweist.Der mikroelektromechanische Antrieb (1) kann dazu verwendet werden, Zielobjekte (20) mit nanoskopischen bis makroskopischen Größen, die innerhalb der Kraft-Verschiebung-Konfigurationen der elektrostatischen Biegeaktuatoren (10) liegen, zu verschieben. Der mikroelektromechanische Antrieb (1) ist dazu geeignet, als Raupenantrieb zu dienen.
Language
de
Patenprio
DE 102020201241 A1: 20200131