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Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Mehrschicht-Sensors und/oder Aktuators

 
: Fink, Samuel; Vedder, Christian; Stollenwerk, Jochen; Stoppel, Fabian; Quenzer, Hans-Joachim; Grünzig, Sven; Pieper, Isa; Lübbens, Jan; Utens, Katharina; Böttger, Ulrich; Schneller, Theodor

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DE 102020200237 A1: 20200110
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Bei einem Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Mehrschicht-Sensors und/oder - Aktuators werden die elektrisch leitfähigen Schichten, optional mit Ausnahme der untersten elektrisch leitfähigen Schicht, und die piezoelektrischen Schichten aus Funktionskeramiken gebildet, indem jeweils eine Präkursorlösung für die Funktionskeramik auf ein Substrat oder eine bereits auf dem Substrat gebildete Schicht oder Schichtfolge aufgebracht und die Funktionskeramik anschließend durch thermische Prozessierung aus der Präkursorlösung gebildet wird. Die Präkursorlösung wird dabei jeweils mit einer additiven Fertigungstechnik aufgebracht und die thermische Prozessierung erfolgt durch Laserbehandlung. Das Verfahren lässt sich kostengünstig durchführen und vermeidet aufwändige Vakuum- oder Maskenprozesse und thermische Schädigungen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-643147.html