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Ultraschallaktor zur Reinigung von Objekten

Ultrasonic actuator for cleaning e.g. fine-structured components of etched wafers, has reflector surface that is formed such that distribution of ultrasonic energies without intensity peaks is provided to acoustic decoupling window
 
: Degel, C.; Jakob, A.; Becker, F.J.

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DE 102006007459 A1: 20060217
DE 2006-102006033372 A: 20060719
WO 2007-DE243 A: 20070209
DE 102006033372 A1: 20070823
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IBMT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallaktor zur Reinigung von Objekten, der ein Ausbreitungsvolumen fuer Ultraschall aufweist, an dem ein oder mehrere Ultraschallwandler angeordnet sind. Das Ausbreitungsvolumen ist von einem akustischen Auskoppelfenster mit einer Koppelflaeche zur akustischen Ankopplung eines zu reinigenden Objektes und von einer oder mehreren Reflexionsflaechen fuer eingekoppelten Ultraschall begrenzt. Die Ultraschallwandler sind derart am Ausbreitungsvolumen angeordnet, dass der eingekoppelte Ultraschall erst nach ein oder mehreren Reflexionen an den Reflexionsflaechen ueber das Auskoppelfenster aus dem Ausbreitungsvolumen austritt. Die Reflexionsflaechen sind derart ausgebildet, dass sich am Auskoppelfenster eine vorgebbare Verteilung der Ultraschallenergie ohne Intensitaetsspitzen ergibt. Mit dem vorliegenden Ultraschallaktor wird eine schonende Reinigung der Objekte bei geringem Einsatz an Reinigungsfluessigkeit erreicht.

 

DE 102006033372 A1 UPAB: 20070907 NOVELTY - The actuator has a metal body (3), a gas and a propagation volume for ultrasound, where the ultrasound is limited by a decoupling window (8) with a coupling surface for acoustic coupling of an object and by a reflector surface (6) for coupling of ultrasound. An ultrasonic transducer (5) couples the ultrasound at the body, gas and the volume such that the coupled ultrasound is withdrawn from the body, gas and the volume over the window according to reflections on the surface. The surface is formed such that distribution of ultrasonic energies without intensity peaks is provided to the window. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for cleaning plate-like objects. USE - Used for cleaning objects such as plate-like object (all claimed) and fine-structured components of etched wafers in a micro-system technology. ADVANTAGE - The reflector surface is formed such that the distribution of the ultrasonic energies without intensity peaks is provided to the decoupling window, thus cleaning the objects using little amount of cleaning fluid in an easy manner.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-63905.html