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Tribologie amorpher Kohlenstoffschichten auf mikrostrukturierten Oberflächen

 
: Phataralaoha, A.; Paulkowski, D.; Bandorf, R.; Küster, R.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
S.159-162
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Diamantähnliche Kohlenstoffschichten (a-C, a-C:H) sind als reibmindernd und verschleißarm bekannt. Die tribologischen Eigenschaften der Schichten können duch Variation der Substrat-Biasspannung eingestellt werden. Durch Dotierung mit verschiedenen Elementen wie z.B. Silizium, sowie eine Mikrostrukturierung der Oberfläche wird das Reibverhalten ebenfalls verändert. Für die Schichtcharakterisierung wurden a-C und a-C:H-Schichten mit unterschiedlichen Substrat-Biasspannungen untersucht. Grundlegende Untersuchungen an Fläche-Fläche Kontakten erfolgten mit dem Reibkraftmessstand und dem oszillierenden Flächenverschleißtester. Es wurden Kreisstrukturen mit unterschiedlichen Größen in Silizium strukturiert und anschließend mit 250 nm dicken a-C-Schichten beschichtet. Als Ergebnis konnte der Reibwert für eine Paarung von a-C gegen a-C mit steigender Flächenpressung reduziert werden. Ferner nimmt der Reibwert der strukturierten Oberflächen bei steigender Last deutlich ab.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-63835.html