Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrostatic chuck for EUV masks

 
: Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.; Harnisch, G.

:

Microelectronic engineering 83 (2006), Nr.4-9, S.714-717
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-63711.html