Options
2007
Conference Paper
Titel
Simulation of a piezo-based vibration drive for electrochemical etching
Alternative
Simulation eines piezobasierten Vibrationsantriebs zum elektrochemischen Ätzen
Abstract
Das beim elektrochemischen Ätzen im Elektrolytbad abgetragene Material muss durch Spülen entfernt werden. Ein periodisches Vergrößern des Arbeitsspaltes zwischen Elektrode und Werkstück ist für einen intensiven Spülvorgang notwendig. Die Dauer des Spülvorganges soll dabei aus Gründen der Produktivität kurz gehalten werden. Während des Ätzprozesses selbst, ergeben kleine Arbeitsspalte eine hohe Konturgenauigkeit. Die entstehenden Prozesskräfte reichen in den Kilonewton-Bereich. Dabei muss ein Kurzschluss zwischen Werkstück und Elektrode vermieden werden. Durch den Einsatz von Piezostacks anstelle motorischer Lösungen könnte ein den Prozesserfordernissen besser angepasstes Profil der Elektrodenbewegung realisiert werden. In diesem Artikel wird (unter vereinfachenden Annahmen) ein Simulink-Modell zur Ermittlung der Zusammenhänge zwischen der Elektrodenbewegung und den dabei entstehenden Kräften im Arbeitsspalt vorgestellt. Die Ergebnisse sind wesentliche Eingangsgrößen für die Dimensionierung einer Aktorik auf der Basis piezoelektrischer Elemente.