Fraunhofer-Gesellschaft

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MEMS-System

 
: Niekiel, Malte Florian; Lofink, Fabian; Lisec, Thomas

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DE 102018222845 A1: 20181221
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Ein MEMS-System umfasst eine erste permanentmagnetische Mikrostruktur sowie eine zweite permanentmagnetische Mikrostruktur. Die erste permanentmagnetische Mikrostruktur ist entlang einer ersten Richtung bewegbar. Die zweite permanentmagnetische Mikrostruktur ist gegenüber der ersten permanentmagnetischen Mikrostruktur beabstandet angeordnet, wobei durch eine Bewegung der ersten permanentmagnetischen Mikrostruktur entlang der ersten Richtung die zweite permanentmagnetische Mikrostruktur oder ein oder mehrere Elemente der zweiten permanentmagnetischen Mikrostruktur entweder in eine zweite Richtung bewegt oder betätigt werden oder eine Rotation erfahren.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-635637.html