Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gase

 
: Münchenberger, Finja M.
: Vogt, Holger; Palzer, Stefan; Dreiner, Stefan; Michel, Marvin D.

Duisburg-Essen, 2021, XVIII, 189 S.
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2021
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-635217.html