Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Abscheidung (CVD) und Charakterisierung W-basierter Diffusionsbarrieren für die Kupfermetallisierung

 
: Ecke, R.

Chemnitz, 2006, 163 S.
Chemnitz, TU, Diss., 2006
URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200700341
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-63433.html