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Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten

Superhard carbon deposited by pulsed high-current arc as protective nanocoating for magnetic hard disks
 
: Neuhäuser, M.; Hilgers, H.; Witke, T.; Siemroth, P.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 13 (2001), Nr.4, S.215-220
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWS ()
nano; Nanotechnologie; Bogentechnologie; mechanische Schichtcharakterisierung; Kohlenstoff-Schichten; PVD; Keramik; Kohlenstoff; Schicht; Multischicht; Nanomaterial; Grenzfläche

Abstract
Superharte amorphe Kohlenstoffschichten (ta-C), die mit gepulstem Hochstrombogen (High-Current Arc, HCA) abgeschieden werden, besitzen ein hohes Potential als zukünftige ultradünne Schutzschichten für Magnetspeicherplatten. Die ta64979 C-Schichten erfüllen alle wesentlichen Anforderungen, die in mechanischer, chemischer und tribologischer Hinsicht an 2-3 nm dicke Verschleiß- und Korrosionsschutzschichten gestellt werden. Auch die Beschichtungstechnik ist aus jetziger Sicht für die Massenproduktion geeignet. Damit bestehen sehr gute Aussichten, daß in naher Zukunft die Hochstrombogenverdampfung die Methode der Wahl für die Kohlenstoffabscheidung in der industriellen Festplattenproduktion darstellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-6282.html