Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fully Additive Copper Metallization on BCB

 
: Stolle, T.; Schwencke, B.; Reichl, H.

Hanselka, H.; Grassie, K.; Teuckhoff, E.; Wegner, G.; Hausselt, J. ; Deutsche Gesellschaft für Materialkunde e.V. -DGM-, Oberursel:
Functional materials
Weinheim: Wiley-VCH, 2000 (EUROMAT '99 13)
ISBN: 3-527-30254-9
S.96-101
European Conference on Advanced Materials and Processes and Applications (EUROMAT) <1999, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-6147.html