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Title
Vorrichtung und Verfahren zum Schutz einer optischen Komponente, insbesondere in einer EUV-Quelle
Date Issued
2006
Author(s)
Neff, W.
Loeken, M.
Patent No
102005024963
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zum Schutz einer optischen Komponente, durch die optische Strahlung durchtritt oder von der optische Strahlung erzeugt oder reflektiert wird, in oder an einer Prozesskammer. Die Vorrichtung umfasst eine vor der optischen Komponente angeordnete optische Platte und eine vor der optischen Platte angeordnete Blende mit einer Blendenoeffnung, durch die ein Oberflaechenbereich der optischen Platte auf einer vorgegebenen Strahlachse der optischen Strahlung freigelegt wird. Verbleibende Oberflaechenbereiche der optischen Platte sind blendenseitig durch die Blende und/oder andere Abschirmelemente zum Schutz vor Verschmutzung abgedeckt. Die optische Platte wird derart translatorisch und/oder rotatorisch bewegt, dass nacheinander unterschiedliche Oberflaechenbereiche durch die Blendenoeffnung freigelegt werden. Durch die vorliegende Vorrichtung und das zugehoerige Verfahren wird eine deutliche Verlaengerung der Lebensdauer der optischen Komponente und somit des Zeitraums zwischen zwei Wartungsintervallen erreicht.
Language
de
Institute
Patenprio
DE 102005024963 A1: 20050531