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MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff

 
: Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.

Reindl, L.M. ; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-; VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Sensoren und Messsysteme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. März 2006 in Freiburg/Breisgau
Berlin: VDE-Verlag, 2006
ISBN: 3-8007-2939-3
S.85-88
Fachtagung Sensoren und Messsysteme <13, 2006, Freiburg/Brsg.>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
In diesem Beitrag beschreiben die Autoren Herstellung und Test von mikromechanischen Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmessstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff (diamond-like carbon: DLC). Optimierte Verfahren zur Abscheidung bei Temperaturen unterhalb von 150° C und Strukturierung von DLC-Schichten sowie die Integration in einen Silizium-Volumenmikromechanikprozess für Kragbalken- und Boss-Membransensoren werden behandelt. Gemessene piezoresistive AT-Faktoren der DLC-Widerstände liegen zwischen 50 und 90 und übersteigen damit deutlich typische AT-Faktoren bordotierter polykristalliner Diamantschichtwiderstände. Über die kraftsensorische Wirkung von DLC-Widerständcn ist gegenwärtig noch wenig bekannt. Untersuchungen zur Integration van DLC-Dehnungsmessstreifen in Mikrokraftsensoren, die im folgenden beschrieben werden, sind daher vom aktuellem Interesse. Die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes der DLC-Dehnungsmessstreifen im Bereich von 30° C bis 150° C ist durch thermisch aktivierte Prozesse des Ladungsträgertransportes bestimmt. Der AT-Faktor ist temperaturunabhängig im Bereich von 30° C bis 60° C.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-60726.html